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zhxj-168

金虫 (著名写手)

[求助] 衬底材料对于传感器性能有没有影响?

气敏传感器使用的衬底是氧化铝,如果把氧化铝换成透明氧化铝,透明氧化铝参数如下:气孔率0.030%,平均晶粒度6.5μm,透光率90%,三点弯强度550MPa,维氏硬度20,对于器件的性能有没有影响?
衬底材料对于传感器有没有影响?作用机理是什么?
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Torres丁

禁虫 (正式写手)

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3楼2012-09-03 14:08:46
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gtr2008

木虫 (正式写手)

气敏传感器结构很多,你这是那种类型的
2楼2012-09-02 22:30:36
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zhxj-168

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by gtr2008 at 2012-09-02 22:30:36
气敏传感器结构很多,你这是那种类型的

薄膜型的,衬底上是ZnO纳米纤维
4楼2012-09-03 16:08:32
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