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金虫 (著名写手)

[求助] 衬底材料对于传感器性能有没有影响？

气敏传感器使用的衬底是氧化铝，如果把氧化铝换成透明氧化铝，透明氧化铝参数如下：气孔率0.030%，平均晶粒度6.5μm，透光率90%，三点弯强度550MPa，维氏硬度20，对于器件的性能有没有影响？
衬底材料对于传感器有没有影响？作用机理是什么？

1楼 2012-09-02 21:32:17

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木虫 (正式写手)

气敏传感器结构很多，你这是那种类型的

2楼2012-09-02 22:30:36

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禁虫 (正式写手)

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3楼2012-09-03 14:08:46

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金虫 (著名写手)

引用回帖:

2楼: Originally posted by gtr2008 at 2012-09-02 22:30:36
气敏传感器结构很多，你这是那种类型的

薄膜型的，衬底上是ZnO纳米纤维

4楼2012-09-03 16:08:32

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