24小时热门版块排行榜    

查看: 2170  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

shucaijing

铜虫 (正式写手)

[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层?我们组有真空镀膜机 但需要很高的温度 且时间长 我用其他的什么方法可以得到那?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Comeon,Baby!!!
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by xpengpengx at 2012-12-25 16:07:16
你好,SiO2用溅射的方法好做吗?我之前做过SiO2射频溅射,辉光放电正常,但是不能成膜   能说说射频溅射SiO2时可能的原因吗?...

我的SiO2是用溅射法制备的,如上所述。但是看过其他人的回复,我觉得我要强调一下,我制备的是非晶的SiOx薄膜,Si/O化学计量比会略偏离1/2。如果你要做的事晶态纯SiO2(石英),那我所说的内容没有任何意义。我做的非晶SiO2薄膜只是作为绝缘层应用而已,对晶体结构、光学性质等没有任何要求。
9楼2012-12-26 12:04:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-08-25 08:43:58
shucaijing: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:07:48
一般而言,如果用单质Si作为溅射靶材,Ar/O2作为溅射气体/反应气体,用一般的磁控溅射方法就可以制备SiO2薄膜,沉积速率视靶材大小和溅射功率的大小而定,但只制备300nm厚的SiO2薄膜,不会要太长时间。我曾经用该方法制备过微米级的SiO2薄膜,也就是几个小时而已。
2楼2012-08-24 19:56:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
shucaijing: 金币+1, 有帮助, 谢谢你的建议 2012-08-29 09:08:22
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:00
你的真空镀膜机指的是溅射吗?除了热氧化,长SiO2最常用的还是射频反应溅射和PECVD,这两种温度都不高
3楼2012-08-25 17:14:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dzcl11

铜虫 (小有名气)


【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-09-02 09:07:14
硅片上生长二氧化硅一般有两种方法:PECVD和热氧化法
4楼2012-09-01 14:37:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料专硕326求调剂 +5 墨煜姒莘 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:30 by 木瓜膏
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 化学调剂0703 +8 啊我我的 2026-03-11 8/400 2026-03-16 17:23 by 我的船我的海
[考研] 一志愿苏州大学材料工程(085601)专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +3 大火山小火山 2026-03-16 5/250 2026-03-16 16:54 by barlinike
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 材料与化工求调剂 +3 为学666 2026-03-16 3/150 2026-03-16 15:09 by 加号+
[考研] 344求调剂 +3 knight344 2026-03-16 3/150 2026-03-16 09:42 by 无际的草原
[考研] 材料工程327求调剂 +3 xiaohe12w 2026-03-11 3/150 2026-03-14 20:20 by ms629
[考研] 255求调剂 +3 李嘉慧, 2026-03-12 4/200 2026-03-14 16:58 by 有只狸奴
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 一志愿西南交大,材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 302求调剂 +6 负心者当诛 2026-03-11 6/300 2026-03-13 16:11 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +3 S.H1 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:15 by JourneyLucky
[考研] 工科调剂 +4 Jiang191123! 2026-03-11 4/200 2026-03-13 15:15 by Miko19
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂! +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +4 捣蛋猪猪 2026-03-11 4/200 2026-03-12 14:47 by ruiyingmiao
[硕博家园] 木虫好像不热闹了,是不是? +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
信息提示
请填处理意见