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shucaijing

铜虫 (正式写手)

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[求助] 如何在硅片上长300nm的Si02层

如何在硅片上长300nm的Si02层？我们组有真空镀膜机但需要很高的温度且时间长我用其他的什么方法可以得到那？

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Comeon,Baby!!!

1楼 2012-08-24 15:08:03

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xpengpengx

铜虫 (小有名气)

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引用回帖:

9楼: Originally posted by dwysd at 2012-12-26 12:04:56
我的SiO2是用溅射法制备的，如上所述。但是看过其他人的回复，我觉得我要强调一下，我制备的是非晶的SiOx薄膜，Si/O化学计量比会略偏离1/2。如果你要做的事晶态纯SiO2(石英)，那我所说的内容没有任何意义。我做的非 ...

我主要也是要求它的介电性能，化学计量比偏离1/2也没关系。你是用反应溅射法制备的SiO2薄膜，我们这边有Si靶，也有SiO2靶，不过我想直接用SiO2靶做，之前试过，如上面所述，辉光放电正常，就是没有膜。注：我是用射频溅射的。不知道问题在哪？能否指导指导？