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alfie237319

金虫 (初入文坛)

[求助] 问问Ti的磁控溅射靶材有高的溅射速率么??

问问Ti的磁控溅射靶材有高的溅射速率么??
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vickiazhang

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

溅射速率跟靶材没关系,跟建设的电流有关,想要快些可以加大电流
2楼2012-12-25 09:38:50
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

若想溅射速率高,应使材料的晶体学密排方向垂直于靶面。
3楼2013-08-22 22:19:43
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