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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 这种多层膜的结构有人见过么？希望能一起交流一下
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finetx

铜虫 (小有名气)

[交流] 这种多层膜的结构有人见过么？希望能一起交流一下

氮化物多层膜的TEM照片，出现很怪的结构，找了很久没有发现相关的文献，希望大家能提供一些文献以供参考，不知道有没有人做出来类似的结构过，或者看到过有这种方面的文献。
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1楼 2012-07-05 21:06:19
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finetx

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by caiyazhi at 2012-09-06 10:27:36
磁控的还是别的方法，磁控大平面或者带弧结构的在转速方面调整，转比小于1或者不为整数时会出现这个结构.

磁控溅射的  求详解！！！！求文献！！！
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17楼2012-09-07 15:26:26
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AmeliaMo

新虫 (小有名气)
★ ★
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finetx: 金币+1, 感谢交流 2012-07-06 10:32:32
是不是结晶的太厉害了呢
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3楼2012-07-06 01:21:52
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philosong

木虫 (著名写手)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
finetx: 金币+1, 璋㈣阿浜ゆ�? 2012-07-06 10:26:49
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-07-07 10:20:54
氧化物里面还是挺常见的。
Cryst.Growth.Des-9-364-Crystal Structure of In2O3(ZnO)m Superlattice Wires and Their Photoluminescence Properties
and references therein

然后，TEM应该给出标尺的。
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4楼2012-07-06 08:40:53
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finetx

铜虫 (小有名气)
???????:
4?: Originally posted by philosong at 2012-07-06 08:40:53
?????????滹??????????
Cryst.Growth.Des-9-364-Crystal Structure of In2O3(ZnO)m Superlattice Wires and Their Photoluminescence Properties
and references therein

???TEM???????????

感谢???醒~但是这个看起???????你给的文献中的那??网格结构 这个是多层膜层间的一些???化
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5楼2012-07-06 10:26:30
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