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ltyz

木虫 (正式写手)

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[求助] 薄膜是否外延？

请教大侠，怎么确定薄膜是外延生长的，用XRD可以吗？

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一份耕耘一份收获

1楼 2012-06-05 11:03:37

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胡晓HUST

银虫 (小有名气)

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用TEM.............

3楼2012-06-05 13:17:00

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juloong

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【答案】应助回帖

★ ★
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-05 12:51:46
ltyz: 金币+1, ★有帮助, 谢谢回帖 2012-06-05 14:53:22

可以用phi scan来确定是否外延

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2楼2012-06-05 11:47:40

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ltyz

木虫 (正式写手)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by juloong at 2012-06-05 11:47:40
可以用phi scan来确定是否外延

谢谢，你说的是XRD里的φ扫描，那请问是怎么操作来确定呢，有了图以后怎么分析？有这方面介绍的资料吗

一份耕耘一份收获

4楼2012-06-05 14:59:53

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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

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【答案】应助回帖

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引用回帖:

4楼: Originally posted by ltyz at 2012-06-05 14:59:53
谢谢，你说的是XRD里的φ扫描，那请问是怎么操作来确定呢，有了图以后怎么分析？有这方面介绍的资料吗...

可以选择同时反映基片和薄膜对称性的晶面进行phi scan,如果是外延的，两者对称性应该一样，就是phi scan图像中出现峰的个数应该相同。

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沐春江

5楼2012-06-05 16:07:57

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