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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 薄膜是否外延？
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ltyz

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜是否外延？

请教大侠，怎么确定薄膜是外延生长的，用XRD可以吗？
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一份耕耘一份收获
1楼 2012-06-05 11:03:37
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-05 12:51:46
ltyz: 金币+1, ★有帮助, 谢谢回帖 2012-06-05 14:53:22
可以用phi scan来确定是否外延
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2楼2012-06-05 11:47:40
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胡晓HUST

银虫 (小有名气)
用TEM.............
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3楼2012-06-05 13:17:00
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ltyz

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by juloong at 2012-06-05 11:47:40
可以用phi scan来确定是否外延

谢谢，你说的是XRD里的φ扫描，那请问是怎么操作来确定呢，有了图以后怎么分析？有这方面介绍的资料吗
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一份耕耘一份收获
4楼2012-06-05 14:59:53
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

★
ltyz: 金币+1, ★有帮助, 谢谢交流 2012-06-06 09:47:39
引用回帖:
4楼: Originally posted by ltyz at 2012-06-05 14:59:53
谢谢，你说的是XRD里的φ扫描，那请问是怎么操作来确定呢，有了图以后怎么分析？有这方面介绍的资料吗...

可以选择同时反映基片和薄膜对称性的晶面进行phi scan,如果是外延的，两者对称性应该一样，就是phi scan图像中出现峰的个数应该相同。
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

沐春江
5楼2012-06-05 16:07:57
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haizi977886

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
有RHEED的话就很容易确定是不是外延的了。
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执着成就梦想
6楼2012-06-05 16:19:25
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邬新

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by juloong at 2012-06-05 16:07:57
可以选择同时反映基片和薄膜对称性的晶面进行phi scan,如果是外延的，两者对称性应该一样，就是phi scan图像中出现峰的个数应该相同。...

您说的个数相同指的是什么个数相同呢？    不是看几个峰是不是等间距吗？
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7楼2016-08-22 22:16:52
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沐春江

禁虫
送红花一朵
本帖内容被屏蔽
8楼2022-07-16 16:41:58
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