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ltyz

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜是否外延?

请教大侠,怎么确定薄膜是外延生长的,用XRD可以吗?
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖


ltyz: 金币+1, 有帮助, 谢谢交流 2012-06-06 09:47:39
引用回帖:
4楼: Originally posted by ltyz at 2012-06-05 14:59:53
谢谢,你说的是XRD里的φ扫描,那请问是怎么操作来确定呢,有了图以后怎么分析?有这方面介绍的资料吗...

可以选择同时反映基片和薄膜对称性的晶面进行phi scan,如果是外延的,两者对称性应该一样,就是phi scan图像中出现峰的个数应该相同。

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5楼2012-06-05 16:07:57
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juloong

木虫 (职业作家)

X射线衍/散射测试

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-05 12:51:46
ltyz: 金币+1, 有帮助, 谢谢回帖 2012-06-05 14:53:22
可以用phi scan来确定是否外延
2楼2012-06-05 11:47:40
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胡晓HUST

银虫 (小有名气)

用TEM.............
3楼2012-06-05 13:17:00
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ltyz

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by juloong at 2012-06-05 11:47:40
可以用phi scan来确定是否外延

谢谢,你说的是XRD里的φ扫描,那请问是怎么操作来确定呢,有了图以后怎么分析?有这方面介绍的资料吗
一份耕耘一份收获
4楼2012-06-05 14:59:53
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