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某图形化衬底PSS标注1×2×1.5，请问三个数字分别对应什么？
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| 衬底时科瑞斯达的。 |
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6楼2012-05-28 21:58:46
送鲜花一朵 |
After a photoresist (PR) with 3.5微米 thickness had been coated on a c-plane (0001) sapphire substrate, the PR was patterned first to be a rectangular shape with different interval and reflowed during a hard-baking process at 140 Å to make a cone shape. 这个是一篇文献中简要介绍这个cone型PSS的制作过程，我完全没看懂这个cone的形状是如何形成的~您能帮我理解一下这个过程吗？ |
7楼2012-05-28 23:18:55
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8楼2012-05-31 20:57:20
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9楼2012-05-31 21:00:21
