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MANOWAR

金虫 (正式写手)

[求助] 某图形化衬底PSS标注1×2×1.5,请问三个数字分别对应什么?

衬底时科瑞斯达的。
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

但我还是很奇怪,为啥是个球形的?干法刻蚀之前被保护的部分,应该是平的啊~~请指教~
6楼2012-05-28 21:58:46
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-26 10:36:49
1 间隙
2 直径
1.5 高度
女人能讲讲道理多好!
2楼2012-05-25 18:39:23
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-25 18:39:23
1 间隙
2 直径
1.5 高度

谢谢大侠~您的意思是说这个衬底的图形是圆台状的?或者是柱状的?谢谢你了~
3楼2012-05-25 21:43:29
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:37:44
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

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女人能讲讲道理多好!
4楼2012-05-27 21:00:25
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