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MANOWAR

金虫 (正式写手)

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[求助] 某图形化衬底PSS标注1×2×1.5，请问三个数字分别对应什么？

衬底时科瑞斯达的。

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1楼 2012-05-24 22:10:17

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MANOWAR

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引用回帖:

4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是，是干法做的，应该是接近半球的！

After a photoresist (PR) with 3.5微米 thickness had been coated on a
c-plane (0001) sapphire substrate, the PR was patterned first to be a rectangular shape with different interval and reflowed during a hard-baking process at 140 Å to make a cone shape.

这个是一篇文献中简要介绍这个cone型PSS的制作过程，我完全没看懂这个cone的形状是如何形成的~您能帮我理解一下这个过程吗？