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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 某图形化衬底PSS标注1×2×1.5，请问三个数字分别对应什么？
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

[求助] 某图形化衬底PSS标注1×2×1.5，请问三个数字分别对应什么？

衬底时科瑞斯达的。
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1楼 2012-05-24 22:10:17
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-26 10:36:49
1 间隙
2 直径
1.5 高度
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女人能讲讲道理多好！
2楼2012-05-25 18:39:23
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-25 18:39:23
1 间隙
2 直径
1.5 高度

谢谢大侠~您的意思是说这个衬底的图形是圆台状的？或者是柱状的？谢谢你了~
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3楼2012-05-25 21:43:29
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:37:44
不是，是干法做的，应该是接近半球的！
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

MANOWAR
女人能讲讲道理多好！
4楼2012-05-27 21:00:25
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是，是干法做的，应该是接近半球的！

大哥您说的是这种样子吗？
它的制作工程是怎样的呢？是不是这样的：
1、光刻胶
2、做图形（比如此时所做图形是保护下面的衬底的）
3、把图形以外的光刻胶去掉
4、干法刻蚀
5、除了保护位置，其他的地方都被刻蚀了一定深度
6、把剩余部分光刻胶去掉，得到pss
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5楼2012-05-28 21:57:14
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是，是干法做的，应该是接近半球的！

但我还是很奇怪，为啥是个球形的？干法刻蚀之前被保护的部分，应该是平的啊~~请指教~
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6楼2012-05-28 21:58:46
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MANOWAR

金虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是，是干法做的，应该是接近半球的！

After a photoresist (PR) with 3.5微米 thickness had been coated on a
c-plane (0001) sapphire substrate, the PR was patterned first to be a rectangular shape with different interval and reflowed during a hard-baking process at 140 Å to make a cone shape.

这个是一篇文献中简要介绍这个cone型PSS的制作过程，我完全没看懂这个cone的形状是如何形成的~您能帮我理解一下这个过程吗？
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7楼2012-05-28 23:18:55
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

主要是利用胶不同的纵横比和对胶的选择比不同！
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女人能讲讲道理多好！
8楼2012-05-31 20:57:20
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ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
MANOWAR: 金币+5, ★有帮助 2012-08-01 16:54:43
主要是胶和衬底的选择比以及刻蚀的纵横比！
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女人能讲讲道理多好！
9楼2012-05-31 21:00:21
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