24小时热门版块排行榜    

查看: 1095  |  回复: 8

MANOWAR

金虫 (正式写手)

[求助] 某图形化衬底PSS标注1×2×1.5,请问三个数字分别对应什么?

衬底时科瑞斯达的。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-26 10:36:49
1 间隙
2 直径
1.5 高度
女人能讲讲道理多好!
2楼2012-05-25 18:39:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-25 18:39:23
1 间隙
2 直径
1.5 高度

谢谢大侠~您的意思是说这个衬底的图形是圆台状的?或者是柱状的?谢谢你了~
3楼2012-05-25 21:43:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


zhaohaixing: 金币+1, 鼓励交流~~ 2012-05-28 10:37:44
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

女人能讲讲道理多好!
4楼2012-05-27 21:00:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

大哥您说的是这种样子吗?
它的制作工程是怎样的呢?是不是这样的:
1、光刻胶
2、做图形(比如此时所做图形是保护下面的衬底的)
3、把图形以外的光刻胶去掉
4、干法刻蚀
5、除了保护位置,其他的地方都被刻蚀了一定深度
6、把剩余部分光刻胶去掉,得到pss


5楼2012-05-28 21:57:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

但我还是很奇怪,为啥是个球形的?干法刻蚀之前被保护的部分,应该是平的啊~~请指教~
6楼2012-05-28 21:58:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

MANOWAR

金虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by ljjbpp at 2012-05-27 21:00:25
不是,是干法做的,应该是接近半球的!

After a photoresist (PR) with 3.5微米 thickness had been coated on a
c-plane (0001) sapphire substrate, the PR was patterned first to be a rectangular shape with different interval and reflowed during a hard-baking process at 140 Å to make a cone shape.

这个是一篇文献中简要介绍这个cone型PSS的制作过程,我完全没看懂这个cone的形状是如何形成的~您能帮我理解一下这个过程吗?
7楼2012-05-28 23:18:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

主要是利用胶不同的纵横比和对胶的选择比不同!
女人能讲讲道理多好!
8楼2012-05-31 20:57:20
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljjbpp

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
MANOWAR: 金币+5, 有帮助 2012-08-01 16:54:43
主要是胶和衬底的选择比以及刻蚀的纵横比!
女人能讲讲道理多好!
9楼2012-05-31 21:00:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 MANOWAR 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 328求调剂,英语六级551,有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 6/300 2026-03-17 17:13 by 生物工程调剂
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 332求调剂 +6 Zz版 2026-03-13 6/300 2026-03-17 17:03 by ruiyingmiao
[考研] 【0856】化学工程(085602)313 分,本科学科评估A类院校化学工程与工艺,诚求调剂 +7 小刘快快上岸 2026-03-11 8/400 2026-03-17 16:57 by ruiyingmiao
[考研] 274求调剂0856材料化工 +13 z2839474511 2026-03-11 14/700 2026-03-17 16:51 by share_joy
[考研] 085600材料与化工求调剂 +5 绪幸与子 2026-03-17 5/250 2026-03-17 16:40 by laoshidan
[考研] 一志愿,福州大学材料专硕339分求调剂 +3 木子momo青争 2026-03-15 3/150 2026-03-17 07:52 by laoshidan
[基金申请] 国自科面上基金字体 +6 iwuli 2026-03-12 7/350 2026-03-16 21:18 by sculhf
[文学芳草园] 伙伴们,祝我生日快乐吧 +17 myrtle 2026-03-10 26/1300 2026-03-16 18:32 by 青橙Ln
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 5/250 2026-03-14 16:30 by JourneyLucky
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 【0703化学调剂】-一志愿华中师范大学-六级475 +5 Becho359 2026-03-11 5/250 2026-03-14 11:35 by 哦哦123
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 315求调剂 +9 小羊小羊_ 2026-03-11 10/500 2026-03-13 21:13 by SXNU李老师
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +3 程雨杭 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:06 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +3 李政莹 2026-03-12 3/150 2026-03-13 11:02 by 求调剂zz
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
请填处理意见