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moring0215

新虫 (正式写手)

[求助] 白光干涉仪测厚度

有两个问题:
1 白光干涉仪和台阶仪那个测涂层厚度更精确?
2 测得的表面曲线不是水平的,是斜直线上升的曲线,有点像一个向右歪了的N型,可以直接用垂直距离作为厚度吗,还是说要乘以cos角度?
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summerfox008

新虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by jw881122 at 2014-09-15 10:45:17
同学你好  你会操作白光干涉仪吗 ?  求指导!...

我操作过
4楼2016-07-01 07:30:20
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查看全部 4 个回答

297398604

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
moring0215: 金币+10 2012-06-28 06:29:54
如果用白光干涉仪的话,要确定你的涂层是否透明以及大概的厚度是多少,还要注意你的涂层材料和substrate是否是同种材料。如果你的涂层是有台阶的,那用台阶仪比较准确。如果你测试的曲线是倾斜的,你可以拉平后取台阶高度
2楼2012-05-23 13:42:44
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jw881122

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 297398604 at 2012-05-23 13:42:44
如果用白光干涉仪的话,要确定你的涂层是否透明以及大概的厚度是多少,还要注意你的涂层材料和substrate是否是同种材料。如果你的涂层是有台阶的,那用台阶仪比较准确。如果你测试的曲线是倾斜的,你可以拉平后取台 ...

同学你好  你会操作白光干涉仪吗 ?  求指导!
3楼2014-09-15 10:45:17
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