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白光干涉仪测厚度
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有两个问题： 1 白光干涉仪和台阶仪那个测涂层厚度更精确？ 2 测得的表面曲线不是水平的，是斜直线上升的曲线，有点像一个向右歪了的N型，可以直接用垂直距离作为厚度吗，还是说要乘以cos角度？ |
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2楼2012-05-23 13:42:44