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白光干涉仪测厚度
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有两个问题: 1 白光干涉仪和台阶仪那个测涂层厚度更精确? 2 测得的表面曲线不是水平的,是斜直线上升的曲线,有点像一个向右歪了的N型,可以直接用垂直距离作为厚度吗,还是说要乘以cos角度? |
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