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白光干涉仪测厚度
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moring0215
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白光干涉仪测厚度
有两个问题:
1 白光干涉仪和台阶仪那个测涂层厚度更精确?
2 测得的表面曲线不是水平的,是斜直线上升的曲线,有点像一个向右歪了的N型,可以直接用垂直距离作为厚度吗,还是说要乘以cos角度?
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1楼
2012-05-19 12:59:38
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jw881122
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2楼
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Originally posted by
297398604
at 2012-05-23 13:42:44
如果用白光干涉仪的话,要确定你的涂层是否透明以及大概的厚度是多少,还要注意你的涂层材料和substrate是否是同种材料。如果你的涂层是有台阶的,那用台阶仪比较准确。如果你测试的曲线是倾斜的,你可以拉平后取台 ...
同学你好 你会操作白光干涉仪吗 ? 求指导!
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3楼
2014-09-15 10:45:17
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297398604
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moring0215: 金币+10
2012-06-28 06:29:54
如果用白光干涉仪的话,要确定你的涂层是否透明以及大概的厚度是多少,还要注意你的涂层材料和substrate是否是同种材料。如果你的涂层是有台阶的,那用台阶仪比较准确。如果你测试的曲线是倾斜的,你可以拉平后取台阶高度
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2楼
2012-05-23 13:42:44
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summerfox008
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3楼
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Originally posted by
jw881122
at 2014-09-15 10:45:17
同学你好 你会操作白光干涉仪吗 ? 求指导!...
我操作过
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4楼
2016-07-01 07:30:20
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