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溅射ZnN膜时,样品的中间出现一条黑色条状物
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jnxyzhhh
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溅射ZnN膜时,样品的中间出现一条黑色条状物
在用直流溅射ZnN膜时,在样品的中间出现一条黑色条状物,是什么原因造成的?溅射室是干净的。
[
Last edited by zhangquan8385 on 2012-5-8 at 08:05
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1楼
2012-05-07 22:27:02
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4楼
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Originally posted by
jnxyzhhh
at 2012-05-09 21:58:15:
没有图片啊。会有几种可能呢?
可能很多,比如内应力大导致剥落(一般出现片状剥落,不排除出现裂痕)
还有杂物影响也有可能,
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努力不一定成功,放弃一定失败
5楼
2012-05-09 23:39:00
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2012-05-08 22:25:50
tt.yao: 金币+1, 鼓励新虫积极交流
2012-05-08 22:25:53
tt.yao: 金币+2, 楼主要求给予
2012-05-08 22:26:12
衬底可能有细微的划痕,溅射之间是看不到的。
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2楼
2012-05-08 18:12:45
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jnxyzhhh: 金币+3,
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有帮助, 谢谢
2012-05-14 21:58:46
有图片吗? 贴张图片上来让大伙看看,
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3楼
2012-05-08 20:06:12
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3楼
:
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418783132
at 2012-05-08 20:06:12:
有图片吗? 贴张图片上来让大伙看看,
没有图片啊。会有几种可能呢?
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4楼
2012-05-09 21:58:15
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