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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)

[求助] 溅射ZnN膜时,样品的中间出现一条黑色条状物

在用直流溅射ZnN膜时,在样品的中间出现一条黑色条状物,是什么原因造成的?溅射室是干净的。

[ Last edited by zhangquan8385 on 2012-5-8 at 08:05 ]
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418783132

木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by jnxyzhhh at 2012-05-09 21:58:15:
没有图片啊。会有几种可能呢?

可能很多,比如内应力大导致剥落(一般出现片状剥落,不排除出现裂痕)
还有杂物影响也有可能,
努力不一定成功,放弃一定失败
5楼2012-05-09 23:39:00
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螃蟹没怀孕

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jnxyzhhh: 金币+2, 有帮助 2012-05-08 22:25:50
tt.yao: 金币+1, 鼓励新虫积极交流 2012-05-08 22:25:53
tt.yao: 金币+2, 楼主要求给予 2012-05-08 22:26:12
衬底可能有细微的划痕,溅射之间是看不到的。
2楼2012-05-08 18:12:45
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418783132

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jnxyzhhh: 金币+3, 有帮助, 谢谢 2012-05-14 21:58:46
有图片吗? 贴张图片上来让大伙看看,
努力不一定成功,放弃一定失败
3楼2012-05-08 20:06:12
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 418783132 at 2012-05-08 20:06:12:
有图片吗? 贴张图片上来让大伙看看,

没有图片啊。会有几种可能呢?
4楼2012-05-09 21:58:15
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