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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 溅射ZnN膜时，样品的中间出现一条黑色条状物
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)

[求助] 溅射ZnN膜时，样品的中间出现一条黑色条状物

在用直流溅射ZnN膜时，在样品的中间出现一条黑色条状物，是什么原因造成的？溅射室是干净的。

[ Last edited by zhangquan8385 on 2012-5-8 at 08:05 ]
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1楼2012-05-07 22:27:02
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418783132

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jnxyzhhh: 金币+3, ★有帮助, 谢谢 2012-05-14 21:58:46
有图片吗？ 贴张图片上来让大伙看看，
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努力不一定成功，放弃一定失败
3楼2012-05-08 20:06:12
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螃蟹没怀孕

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jnxyzhhh: 金币+2, ★有帮助 2012-05-08 22:25:50
tt.yao: 金币+1, 鼓励新虫积极交流 2012-05-08 22:25:53
tt.yao: 金币+2, 楼主要求给予 2012-05-08 22:26:12
衬底可能有细微的划痕，溅射之间是看不到的。
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2楼2012-05-08 18:12:45
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jnxyzhhh

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 418783132 at 2012-05-08 20:06:12:
有图片吗？ 贴张图片上来让大伙看看，

没有图片啊。会有几种可能呢？
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4楼2012-05-09 21:58:15
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418783132

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jnxyzhhh at 2012-05-09 21:58:15:
没有图片啊。会有几种可能呢？

可能很多，比如内应力大导致剥落(一般出现片状剥落，不排除出现裂痕)
还有杂物影响也有可能，
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努力不一定成功，放弃一定失败
5楼2012-05-09 23:39:00
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