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wenzhoucmm

新虫 (初入文坛)

[求助] 新手求助,磁控溅射,在银上溅射SiO2二氧化硅

求助,有谁做过在银上射频溅射二氧化硅么?我是先在玻璃片上直流溅射一层约50nm厚的银膜然后然后转射频溅射镀500nm厚的SiO2,样品拿出来一个小时后发现脱皮的现象,要怎么办呀?求高手相助!
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muxi126

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

哥们 你的二氧化硅怎么镀的 是通过氩气和氧气的混合气溅射得到的吗  要是有氧气存在会氧化掉银膜层,结合力必然不好。我们做的时候都是加入牺牲层的 比如零点几nm的NiCr等,有机会可以深入交流。
尽人事,听天命。
14楼2013-06-17 13:50:52
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muxi126

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

还有 玻璃和银层的结合力本身不太好 也要加入过渡层 最好  我们做的最简单的膜系结构是这个样子的玻璃衬底/SiN/NiCr/Ag/NiCr/SiN
尽人事,听天命。
15楼2013-06-17 13:53:09
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