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fcy110918

铁杆木虫 (正式写手)

[求助] 离子溅射镀膜

想在硅片上镀上一层金,然后通过镀膜时间来控制厚度
现在有了ETD-3000离子溅射仪,新买的,不会用。
1.有说是要充入氩气,有的说可以不充,到底应该怎么样?
2.真空度要多低,电流多大,镀金的效果好一点,镀的均匀一点?
3.镀金时,对基底的微纳结构有影响吗,可以保持原来的纳米结构吗?
跪求有经验的虫子能够指点迷津
本人刚开始做实验 菜鸟级别
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xlys-forever

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
fcy110918: 金币+2, ★★★很有帮助, 谢谢,辛苦了!!! 2012-05-11 16:26:11
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-14 07:44:03
需要冲入氩气,背景真空度越低越好,镀膜时功率不要太大,电流不要太大,基片镀膜前最好清洗干净,薄膜对基体没有影响。
2楼2012-05-10 07:56:22
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Jason-wong

至尊木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-14 07:44:16
fcy110918: 金币+3, ★★★很有帮助, 谢谢,辛苦啦!! 2012-05-14 11:00:32
要确定你的实验参数,比如溅射功率,气流大小,以及衬底温度等。当然需要Ar气啊,产生等离子体,才能溅射镀膜。找找相关书籍看看。
3楼2012-05-13 21:25:32
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lixs910

木虫 (小有名气)

浪客

请问溅射一个表面需要多长时间啊?不会算啊。。。。要考试的。。谢谢高人指点
4楼2012-11-09 22:12:53
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fcy110918

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by lixs910 at 2012-11-09 22:12:53
请问溅射一个表面需要多长时间啊?不会算啊。。。。要考试的。。谢谢高人指点

这个问题不好回答啊!不知道你要镀什么?
5楼2012-11-12 14:12:10
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

一定要充入氩气。
电流不能超过10mA,压强0.5-2Pa。
调整溅射的距离。
6楼2013-04-29 07:07:00
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