应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » BST靶材
201/1返回列表
查看: 1519  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wulijia

新虫 (初入文坛)

[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好，致密度也很高，能达到90%以上，为什么在做射频溅射的时候还是容易裂？不知是否有牛人可以告知，万分感谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-04-24 20:35:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

418783132

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助，鼓励交流！ 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-24 21:11:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhameng07

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法，鼓励，不知道这样对溅射质量有无影响， 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。
赞一下 回复此楼
3楼2012-04-24 21:40:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的，按道理说应该是够小了啊。
赞一下 回复此楼
4楼2012-04-25 09:38:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-24 21:11:34:
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，

我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。
赞一下 回复此楼
5楼2012-04-25 09:39:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 鼓励交流~ 2012-04-25 16:04:57
是不是靶材太厚了，传热不均？
赞一下 回复此楼
6楼2012-04-25 09:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-25 09:49:12:
是不是靶材太厚了，传热不均？

5mm左右，不算太厚吧？
赞一下 回复此楼
7楼2012-04-25 10:15:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

418783132

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-25 09:39:09:
我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。

你说的是腔室内温度 150，，我说的是靶材表面，，那个温度很高，不然靶材怎么溅射出来呢，，，，
赞一下 回复此楼
8楼2012-04-25 15:56:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-25 15:56:25:
你说的是腔室内温度 150，，我说的是靶材表面，，那个温度很高，不然靶材怎么溅射出来呢，，，，

那有什么解决办法呢？
赞一下 回复此楼
9楼2012-04-26 11:37:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

418783132

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
说实话，我们没自己做过靶材，都是买现成的，，
赞一下 回复此楼
10楼2012-04-26 11:53:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-25 10:15:06:
5mm左右，不算太厚吧？

不算太厚。要不试着提高一下烧结温度？还有，是不是粘结剂的用量多了一点？
赞一下 回复此楼
11楼2012-04-26 15:58:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xlin

金虫 (小有名气)
热处理下？
回复此楼
12楼2012-04-27 15:21:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xlin at 2012-04-27 15:21:12:
热处理下？

如何热处理？
回复此楼
13楼2012-04-27 15:24:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-26 15:58:27:
不算太厚。要不试着提高一下烧结温度？还有，是不是粘结剂的用量多了一点？

粘结剂一般加多少比较合适？
赞一下 回复此楼
14楼2012-04-27 15:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wulijia: 金币+1 2012-05-03 14:22:32
tjcdp: 金币+1, 鼓励！！ 2012-05-05 13:09:57
引用回帖:
14楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-27 15:24:55:
粘结剂一般加多少比较合适？

根据你的靶材的大小决定。直径小的陶瓷片一般是3%-5%，直径大的（比如70mm）的有加到10%的。
赞一下 回复此楼
15楼2012-04-28 10:23:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-28 10:23:15:
根据你的靶材的大小决定。直径小的陶瓷片一般是3%-5%，直径大的（比如70mm）的有加到10%的。

哦，晓得了，谢谢哈！
回复此楼
16楼2012-05-03 14:22:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 鼓励交流~ 2012-05-04 15:42:28
tjcdp: 金币+1, 鼓励！！ 2012-05-05 13:10:09
两点改进意见：
1、厚度最好在3mm左右；
2、进行背板绑定。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

wulijia
17楼2012-05-04 15:19:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by mosleo at 2012-05-04 15:19:45:
两点改进意见：
1、厚度最好在3mm左右；
2、进行背板绑定。

额，什么叫背板绑定？
赞一下 回复此楼
18楼2012-05-06 11:28:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
绑定简单的理解就是在陶瓷靶材上面焊接一块铜板。
赞一下 回复此楼
19楼2012-08-28 18:12:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mosleo

捐助贵宾 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
密度只是一方面的，陶瓷导热性差还是需要背板绑定处理才可以。
赞一下 回复此楼
20楼2012-08-28 19:47:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wulijia 的主题更新
201/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂！ +3 不想理你 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:59 by JourneyLucky
[考研] 机械专硕299求调剂至材料 +3 kkcoco25 2026-03-16 4/200 2026-03-21 03:52 by JourneyLucky
[考研] 一志愿天津大学化学工艺专业（081702）315分求调剂 +12 yangfz 2026-03-17 12/600 2026-03-21 03:30 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +10 yy要上岸呀 2026-03-17 10/500 2026-03-21 03:14 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +8 申子申申 2026-03-19 13/650 2026-03-21 00:09 by 刘国森
[考研] 求调剂，一志愿:南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕，总分289分 +4 @taotao 2026-03-19 4/200 2026-03-20 22:14 by JourneyLucky
[考研] 295复试调剂 +8 简木ChuFront 2026-03-19 8/400 2026-03-20 20:44 by zhukairuo
[考研] 一志愿 南京航空航天大学大学 ，080500材料科学与工程学硕 +5 @taotao 2026-03-20 5/250 2026-03-20 20:16 by JourneyLucky
[考研] 288求调剂，一志愿华南理工大学071005 +5 ioodiiij 2026-03-17 5/250 2026-03-19 18:22 by zcl123
[考研] 085600材料与化工求调剂 +6 绪幸与子 2026-03-17 6/300 2026-03-19 13:27 by houyaoxu
[考研] 本科郑州大学物理学院，一志愿华科070200学硕，346求调剂 +4 我不是一根葱 2026-03-18 4/200 2026-03-19 09:11 by 浮云166
[考研] 0854，计算机类招收调剂 +3 胡辣汤放糖 2026-03-15 6/300 2026-03-18 12:09 by 上岸上岸……..
[考研] 0703化学336分求调剂 +6 zbzihdhd 2026-03-15 7/350 2026-03-18 09:53 by zhukairuo
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考博] 26申博 +4 八6八68 2026-03-16 4/200 2026-03-17 13:00 by 轻松不少随
[考研] 0854控制工程 359求调剂 可跨专业 +3 626776879 2026-03-14 9/450 2026-03-16 17:42 by 626776879
[考研] 326求调剂 +4 诺贝尔化学奖觊� 2026-03-15 7/350 2026-03-16 17:11 by 诺贝尔化学奖觊�
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭