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wulijia

新虫 (初入文坛)

[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好，致密度也很高，能达到90%以上，为什么在做射频溅射的时候还是容易裂？不知是否有牛人可以告知，万分感谢！
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1楼 2012-04-24 20:35:53
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418783132

木虫 (著名写手)
★
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引用回帖:
5楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-25 09:39:09:
我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。

你说的是腔室内温度 150，，我说的是靶材表面，，那个温度很高，不然靶材怎么溅射出来呢，，，，
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8楼2012-04-25 15:56:25
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418783132

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助，鼓励交流！ 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，
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2楼2012-04-24 21:11:34
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法，鼓励，不知道这样对溅射质量有无影响， 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。
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3楼2012-04-24 21:40:13
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的，按道理说应该是够小了啊。
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4楼2012-04-25 09:38:27
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