应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » BST靶材
51/1返回列表
查看: 1412  |  回复: 19
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)

[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好，致密度也很高，能达到90%以上，为什么在做射频溅射的时候还是容易裂？不知是否有牛人可以告知，万分感谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2012-04-24 20:35:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhameng07

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法，鼓励，不知道这样对溅射质量有无影响， 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。
赞一下 回复此楼
3楼2012-04-24 21:40:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答

418783132

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助，鼓励交流！ 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，
赞一下 回复此楼
2楼2012-04-24 21:11:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的，按道理说应该是够小了啊。
赞一下 回复此楼
4楼2012-04-25 09:38:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-24 21:11:34:
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，

我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。
赞一下 回复此楼
5楼2012-04-25 09:39:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 20 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭