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wulijia

新虫 (初入文坛)


[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好,致密度也很高,能达到90%以上,为什么在做射频溅射的时候还是容易裂?不知是否有牛人可以告知,万分感谢!
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wulijia

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常,溅射之前把靶材用铜丝箍紧,没关系的;也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的,按道理说应该是够小了啊。
4楼2012-04-25 09:38:27
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418783132

木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助,鼓励交流! 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高,,一两千度肯定有,,高温粉末烧结靶材要求很高,,,
2楼2012-04-24 21:11:34
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法,鼓励,不知道这样对溅射质量有无影响, 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常,溅射之前把靶材用铜丝箍紧,没关系的;也许你可以把功率调小一点。
3楼2012-04-24 21:40:13
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wulijia

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-24 21:11:34:
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高,,一两千度肯定有,,高温粉末烧结靶材要求很高,,,

我溅射的温度是150℃,温度应该算是够低的了啊。
5楼2012-04-25 09:39:09
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