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wulijia

新虫 (初入文坛)

[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好，致密度也很高，能达到90%以上，为什么在做射频溅射的时候还是容易裂？不知是否有牛人可以告知，万分感谢！
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1楼 2012-04-24 20:35:53
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418783132

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助，鼓励交流！ 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，
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2楼2012-04-24 21:11:34
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法，鼓励，不知道这样对溅射质量有无影响， 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。
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3楼2012-04-24 21:40:13
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常，溅射之前把靶材用铜丝箍紧，没关系的；也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的，按道理说应该是够小了啊。
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4楼2012-04-25 09:38:27
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-24 21:11:34:
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高，，一两千度肯定有，，高温粉末烧结靶材要求很高，，，

我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。
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5楼2012-04-25 09:39:09
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tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 鼓励交流~ 2012-04-25 16:04:57
是不是靶材太厚了，传热不均？
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6楼2012-04-25 09:49:12
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-25 09:49:12:
是不是靶材太厚了，传热不均？

5mm左右，不算太厚吧？
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7楼2012-04-25 10:15:06
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418783132

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-25 09:39:09:
我溅射的温度是150℃，温度应该算是够低的了啊。

你说的是腔室内温度 150，，我说的是靶材表面，，那个温度很高，不然靶材怎么溅射出来呢，，，，
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8楼2012-04-25 15:56:25
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 418783132 at 2012-04-25 15:56:25:
你说的是腔室内温度 150，，我说的是靶材表面，，那个温度很高，不然靶材怎么溅射出来呢，，，，

那有什么解决办法呢？
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9楼2012-04-26 11:37:47
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418783132

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
说实话，我们没自己做过靶材，都是买现成的，，
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10楼2012-04-26 11:53:45
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tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-25 10:15:06:
5mm左右，不算太厚吧？

不算太厚。要不试着提高一下烧结温度？还有，是不是粘结剂的用量多了一点？
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11楼2012-04-26 15:58:27
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xlin

金虫 (小有名气)
热处理下？
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12楼2012-04-27 15:21:12
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by xlin at 2012-04-27 15:21:12:
热处理下？

如何热处理？
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13楼2012-04-27 15:24:14
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-26 15:58:27:
不算太厚。要不试着提高一下烧结温度？还有，是不是粘结剂的用量多了一点？

粘结剂一般加多少比较合适？
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14楼2012-04-27 15:24:55
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tianzhiguwo

木虫 (小有名气)
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
wulijia: 金币+1 2012-05-03 14:22:32
tjcdp: 金币+1, 鼓励！！ 2012-05-05 13:09:57
引用回帖:
14楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-27 15:24:55:
粘结剂一般加多少比较合适？

根据你的靶材的大小决定。直径小的陶瓷片一般是3%-5%，直径大的（比如70mm）的有加到10%的。
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15楼2012-04-28 10:23:15
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wulijia

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
15楼: Originally posted by tianzhiguwo at 2012-04-28 10:23:15:
根据你的靶材的大小决定。直径小的陶瓷片一般是3%-5%，直径大的（比如70mm）的有加到10%的。

哦，晓得了，谢谢哈！
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16楼2012-05-03 14:22:25
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mosleo

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★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
418783132: 金币+1, 鼓励交流~ 2012-05-04 15:42:28
tjcdp: 金币+1, 鼓励！！ 2012-05-05 13:10:09
两点改进意见：
1、厚度最好在3mm左右；
2、进行背板绑定。
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wulijia
17楼2012-05-04 15:19:45
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wulijia

新虫 (初入文坛)
送鲜花一朵
引用回帖:
17楼: Originally posted by mosleo at 2012-05-04 15:19:45:
两点改进意见：
1、厚度最好在3mm左右；
2、进行背板绑定。

额，什么叫背板绑定？
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18楼2012-05-06 11:28:33
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mosleo

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绑定简单的理解就是在陶瓷靶材上面焊接一块铜板。
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19楼2012-08-28 18:12:00
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mosleo

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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
密度只是一方面的，陶瓷导热性差还是需要背板绑定处理才可以。
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20楼2012-08-28 19:47:45
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