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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wulijia

新虫 (初入文坛)


[交流] BST靶材

我做的BST靶材在1340℃下烧结后感觉良好,致密度也很高,能达到90%以上,为什么在做射频溅射的时候还是容易裂?不知是否有牛人可以告知,万分感谢!
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tianzhiguwo

木虫 (小有名气)


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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
wulijia: 金币+1 2012-05-03 14:22:32
tjcdp: 金币+1, 鼓励!! 2012-05-05 13:09:57
引用回帖:
14楼: Originally posted by wulijia at 2012-04-27 15:24:55:
粘结剂一般加多少比较合适?

根据你的靶材的大小决定。直径小的陶瓷片一般是3%-5%,直径大的(比如70mm)的有加到10%的。
15楼2012-04-28 10:23:15
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418783132

木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
tjcdp: 金币+1, 多谢应助,鼓励交流! 2012-04-25 17:16:55
溅射时  在靶材表面局部位置温度很高,,一两千度肯定有,,高温粉末烧结靶材要求很高,,,
2楼2012-04-24 21:11:34
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zhameng07

铜虫 (初入文坛)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
418783132: 金币+1, 不错的方法,鼓励,不知道这样对溅射质量有无影响, 2012-04-24 23:49:26
wulijia: 金币+1 2012-04-25 09:37:12
正常,溅射之前把靶材用铜丝箍紧,没关系的;也许你可以把功率调小一点。
3楼2012-04-24 21:40:13
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wulijia

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by zhameng07 at 2012-04-24 21:40:13:
正常,溅射之前把靶材用铜丝箍紧,没关系的;也许你可以把功率调小一点。

我是用100W的功率溅射的,按道理说应该是够小了啊。
4楼2012-04-25 09:38:27
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