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战狼传说

木虫 (正式写手)

[求助] 薄膜顶电极的制备

想测一下薄膜的铁电性,请问每个点状顶电极的面积是多少,点与点之间的间距是多少,如果用掩模板的话,掩模板的厚度一般是多少?
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仗剑施忠义,挥戈定太平。
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linden0802

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
战狼传说: 金币+5, 有帮助, 谢谢你,我想用铁电分析仪测,顶电极好想要很多点,用掩模板覆盖然后镀金做电极 2012-04-15 21:25:44
我就冒昧的说说自己的看法:
两个电极一大一小,大的直径1~1.5mm,小的可以用TEM的铜网掩盖镀膜,模版厚度没有直接要求吧,距离1mm左右(薄膜相对够薄的话)
2楼2012-04-15 17:32:34
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pcsmine

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
战狼传说: 金币+5, ★★★很有帮助, 非常感谢! 2012-04-16 13:31:08
测试面积没有定值,在铁电分析仪测上可以设定面积,但是不宜过大,我用的是直径0.5mm圆孔,掩膜板不能太厚了,不然很难镀上去,点的距离也没有定值,只要镀出来的点不连在一起就好,以方便测试为准,点距离小一些,点的数目就多一些。
3楼2012-04-16 09:30:12
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