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直流打火
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| 我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中，设备突然出现打火现象，而且一直持续，但射频却没这种现象， 此外只通氩气也没有这种现象，打开后发现靶溅穿了，但不知道是不是靶溅穿了的原因？请高手指教 |
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6楼2012-03-30 12:54:51
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