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直流打火
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| 我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中,设备突然出现打火现象,而且一直持续,但射频却没这种现象, 此外只通氩气也没有这种现象,打开后发现靶溅穿了,但不知道是不是靶溅穿了的原因?请高手指教 |
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2楼2012-03-29 08:05:38

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kuailefyz
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6楼2012-03-30 12:54:51
zhuzhuyaya
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