24小时热门版块排行榜    

查看: 1791  |  回复: 7
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流打火

我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中,设备突然出现打火现象,而且一直持续,但射频却没这种现象, 此外只通氩气也没有这种现象,打开后发现靶溅穿了,但不知道是不是靶溅穿了的原因?请高手指教
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wuwanghao at 2012-03-29 08:22:16:
是有这种可能性的,上楼已经大致说了打火的机制,不过更多的可能性是因为击穿了空气,形成了通路电火花,也即是电流!

那你说的这种可能是哪出问题了?我现在已经换了一块靶在试,但还没开始溅射,所以不能确定是不是靶的问题
4楼2012-03-29 09:43:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 希望继续为功能材料多做贡献 2012-03-29 15:05:42
是因为靶穿了。
打火就是因为有不导电物质,积累电荷,瞬间放电现象。
呼市虫子在深圳创造奇迹!
2楼2012-03-29 08:05:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wuwanghao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-03-29 15:05:56
是有这种可能性的,上楼已经大致说了打火的机制,不过更多的可能性是因为击穿了空气,形成了通路电火花,也即是电流!
水之积也不厚,则其负大舟也无力;风之积也不厚,则其负大翼也无力。
3楼2012-03-29 08:22:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wuwanghao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

溅射时抽的真空度很高吗?当有导电蒸汽时,产生电火花也是很正常的啊!
水之积也不厚,则其负大舟也无力;风之积也不厚,则其负大翼也无力。
5楼2012-03-29 10:09:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 哪位高人中了,把查询到的截图贴出来让我看看,让我长长见识 +6 yuleib84 2026-08-26 7/350 2026-08-31 19:46 by 鱼翔浅底1
[基金申请] 能否申诉? +7 echo8914667 2026-08-30 8/400 2026-08-31 17:00 by yihongxu
[基金申请] 中青基了要发朋友圈吗? +7 349506619 2026-08-28 7/350 2026-08-31 13:39 by 冼亮淀粉酶
[基金申请] 为什么到现在没收到通知? +5 tannykie 2026-08-29 5/250 2026-08-30 21:05 by purplejack
[考博] 找导师 +6 yuanjiabao 2026-08-29 7/350 2026-08-30 14:40 by 生科新手
[基金申请] 麻烦专家们看看评委们的意见(F口面上) +6 gdd2018 2026-08-28 11/550 2026-08-30 08:58 by 超级无敌华子
[基金申请] 国自然面上复盘~欢迎讨论 (金币+15) +15 晴天加油 2026-08-26 16/800 2026-08-29 18:28 by symmetry
[基金申请] 为什么资助数各大高校都创新高,自己申请怎么就这么难 +12 Kittylucky 2026-08-27 13/650 2026-08-29 00:04 by superceng
[基金申请] 基金未中,这种答复是模板吗? +5 zhaosm1982 2026-08-27 6/300 2026-08-27 16:00 by lfy8008
[基金申请] 看板上这么多中的,有点像50人群里49个人都是骗子的那种感觉…… +5 a089 2026-08-26 6/300 2026-08-27 14:05 by jonewore
[基金申请] 怎么看青基中了没有啊 +5 叶九微 2026-08-26 5/250 2026-08-27 10:35 by l_zh2008
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 为什么国自然不能直接公布 +4 bjdxyxy 2026-08-26 4/200 2026-08-26 13:12 by qingmu1201
[基金申请] 国际合作可查了,中了面上 (EPI+1)(金币+50) +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 国合可查了 +3 paperzjh 2026-08-26 3/150 2026-08-26 10:41 by LemmonTr
[基金申请] 今天务委会开完了,明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[基金申请] 牛来!米来!面来! +8 beefly 2026-08-26 8/400 2026-08-26 08:37 by xuzhipiao
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候,我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
信息提示
请填处理意见