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xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流打火

我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中,设备突然出现打火现象,而且一直持续,但射频却没这种现象, 此外只通氩气也没有这种现象,打开后发现靶溅穿了,但不知道是不是靶溅穿了的原因?请高手指教
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wuwanghao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-03-29 15:05:56
是有这种可能性的,上楼已经大致说了打火的机制,不过更多的可能性是因为击穿了空气,形成了通路电火花,也即是电流!
水之积也不厚,则其负大舟也无力;风之积也不厚,则其负大翼也无力。
3楼2012-03-29 08:22:16
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 希望继续为功能材料多做贡献 2012-03-29 15:05:42
是因为靶穿了。
打火就是因为有不导电物质,积累电荷,瞬间放电现象。
呼市虫子在深圳创造奇迹!
2楼2012-03-29 08:05:38
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xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wuwanghao at 2012-03-29 08:22:16:
是有这种可能性的,上楼已经大致说了打火的机制,不过更多的可能性是因为击穿了空气,形成了通路电火花,也即是电流!

那你说的这种可能是哪出问题了?我现在已经换了一块靶在试,但还没开始溅射,所以不能确定是不是靶的问题
4楼2012-03-29 09:43:49
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wuwanghao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

溅射时抽的真空度很高吗?当有导电蒸汽时,产生电火花也是很正常的啊!
水之积也不厚,则其负大舟也无力;风之积也不厚,则其负大翼也无力。
5楼2012-03-29 10:09:41
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