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[求助]
直流打火
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| 我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中，设备突然出现打火现象，而且一直持续，但射频却没这种现象， 此外只通氩气也没有这种现象，打开后发现靶溅穿了，但不知道是不是靶溅穿了的原因？请高手指教 |
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5楼2012-03-29 10:09:41
xiaofeng-wang
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 18 (小学生)
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- 虫号: 269699
- 注册: 2006-08-05
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2012-03-29 08:05:38
3楼2012-03-29 08:22:16
4楼2012-03-29 09:43:49
5