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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 直流打火
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xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流打火

我在用磁控溅射直流溅射镀膜的过程中，设备突然出现打火现象，而且一直持续，但射频却没这种现象， 此外只通氩气也没有这种现象，打开后发现靶溅穿了，但不知道是不是靶溅穿了的原因？请高手指教
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1楼 2012-03-28 10:48:51
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zhuzhuyaya

木虫 (小有名气)

科研屌丝

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
打火就是因为在溅射过程中，电荷不断积累，出现瞬间击穿造成的，其主要原因就是溅射区的导电性能不佳，你可以调一下气压，或加大溅射偏压试试。
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7楼2012-04-13 09:07:32
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴 希望继续为功能材料多做贡献 2012-03-29 15:05:42
是因为靶穿了。
打火就是因为有不导电物质，积累电荷，瞬间放电现象。
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呼市虫子在深圳创造奇迹！
2楼2012-03-29 08:05:38
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wuwanghao

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
qiqiqiqi: , 鼓励积极回贴交流 2012-03-29 15:05:56
是有这种可能性的，上楼已经大致说了打火的机制，不过更多的可能性是因为击穿了空气，形成了通路电火花，也即是电流！
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水之积也不厚，则其负大舟也无力；风之积也不厚，则其负大翼也无力。
3楼2012-03-29 08:22:16
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xiaoxue_818

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wuwanghao at 2012-03-29 08:22:16:
是有这种可能性的，上楼已经大致说了打火的机制，不过更多的可能性是因为击穿了空气，形成了通路电火花，也即是电流！

那你说的这种可能是哪出问题了？我现在已经换了一块靶在试，但还没开始溅射，所以不能确定是不是靶的问题
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4楼2012-03-29 09:43:49
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