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qiuzc

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 311.5
帖子: 89
在线: 47.6小时
虫号: 1409760
注册: 2011-09-20
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 磁控溅射能起辉，但不能沉积

我用射频磁控溅射，溅射Al靶，功率试过从80W增加到200W，时间为两小时。能起辉，但石英基片上没任何东西。之前反应溅射锌靶镀氧化锌，能镀出氧化锌，但怎么都不厚，而直接溅射锌（同一靶材），却没有沉积锌。

[ Last edited by qiuzc on 2012-3-23 at 09:11 ]

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1楼2012-03-23 09:09:41

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foxs2

木虫 (文坛精英)

应助: 25 (小学生)
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注册: 2012-03-03
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专业: 无机非金属类光电信息与功

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

铝和氧化锌我都经常镀，没有碰到你说的镀不上的情况。有可能是Ar离子能量太小未能把靶材溅射出来，把功率加大到500W试试。

2楼2012-03-24 11:57:33

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