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驿站

金虫 (小有名气)

[求助] 玻璃上蒸发硅,怎么提高蒸发速率

各位,我在玻璃衬底上蒸发硅,蒸了3个小时,发现厚度还是几十纳米,大家有什么好的方法让我在三个小时里,达到1微米。谢谢了
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驿站

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by wbcui at 2012-03-09 23:19:04:
不知道你能否调整一下基片和靶之间的距离?
距离小一点有助于提高沉积速率

并且,你应该用RF吧,调整一下反射功率,有可能因为反射功率太大,导致沉积速率低

谢谢你
5楼2012-03-13 10:12:31
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foxs2

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wbcui(金币+2): 多谢帮助 2012-03-09 23:17:19
蒸镀、磁控溅射都可以镀一两个微米吧?只能说你哪个操作步骤出问题了。
2楼2012-03-08 10:40:22
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驿站

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by foxs2 at 2012-03-08 10:40:22:
蒸镀、磁控溅射都可以镀一两个微米吧?只能说你哪个操作步骤出问题了。

谢谢你。其实这个实验我已经实验一个星期了,功率达到极值900w,如果再大的话,坞舟都被熔断了,我分析了可能是腔室太大了。
3楼2012-03-09 22:00:42
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11(金币+1): 多谢参与 2012-03-13 10:42:38
引用回帖:
3楼: Originally posted by 驿站 at 2012-03-09 23:00:42:
谢谢你。其实这个实验我已经实验一个星期了,功率达到极值900w,如果再大的话,坞舟都被熔断了,我分析了可能是腔室太大了。

不知道你能否调整一下基片和靶之间的距离?
距离小一点有助于提高沉积速率

并且,你应该用RF吧,调整一下反射功率,有可能因为反射功率太大,导致沉积速率低
4楼2012-03-09 23:19:04
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