24小时热门版块排行榜    

查看: 666  |  回复: 4

驿站

金虫 (小有名气)

[求助] 玻璃上蒸发硅,怎么提高蒸发速率

各位,我在玻璃衬底上蒸发硅,蒸了3个小时,发现厚度还是几十纳米,大家有什么好的方法让我在三个小时里,达到1微米。谢谢了
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

foxs2

木虫 (文坛精英)


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wbcui(金币+2): 多谢帮助 2012-03-09 23:17:19
蒸镀、磁控溅射都可以镀一两个微米吧?只能说你哪个操作步骤出问题了。
2楼2012-03-08 10:40:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

驿站

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by foxs2 at 2012-03-08 10:40:22:
蒸镀、磁控溅射都可以镀一两个微米吧?只能说你哪个操作步骤出问题了。

谢谢你。其实这个实验我已经实验一个星期了,功率达到极值900w,如果再大的话,坞舟都被熔断了,我分析了可能是腔室太大了。
3楼2012-03-09 22:00:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
悠然zx11(金币+1): 多谢参与 2012-03-13 10:42:38
引用回帖:
3楼: Originally posted by 驿站 at 2012-03-09 23:00:42:
谢谢你。其实这个实验我已经实验一个星期了,功率达到极值900w,如果再大的话,坞舟都被熔断了,我分析了可能是腔室太大了。

不知道你能否调整一下基片和靶之间的距离?
距离小一点有助于提高沉积速率

并且,你应该用RF吧,调整一下反射功率,有可能因为反射功率太大,导致沉积速率低
4楼2012-03-09 23:19:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

驿站

金虫 (小有名气)

引用回帖:
: Originally posted by wbcui at 2012-03-09 23:19:04:
不知道你能否调整一下基片和靶之间的距离?
距离小一点有助于提高沉积速率

并且,你应该用RF吧,调整一下反射功率,有可能因为反射功率太大,导致沉积速率低

谢谢你
5楼2012-03-13 10:12:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 驿站 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 考研调剂 +3 呼呼?~+123456 2026-03-21 3/150 2026-03-21 20:04 by 无际的草原
[考研] 326求调剂 +4 mlpqaz03 2026-03-15 4/200 2026-03-21 19:10 by ColorlessPI
[考研] 317求调剂 +9 申子申申 2026-03-19 15/750 2026-03-21 17:31 by 学员8dgXkO
[考研] 材料 271求调剂 +5 展信悦_ 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:29 by 学员8dgXkO
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 332求调剂 +3 凤凰院丁真 2026-03-20 3/150 2026-03-21 10:27 by luoyongfeng
[考研] 085601调剂 358分 +3 zzzzggh 2026-03-20 4/200 2026-03-21 10:21 by luoyongfeng
[考研] 306求调剂 +4 chuanzhu川烛 2026-03-18 4/200 2026-03-21 08:25 by laoshidan
[考研] 求调剂 +6 Mqqqqqq 2026-03-19 6/300 2026-03-21 08:04 by JourneyLucky
[考研] 化学求调剂 +4 临泽境llllll 2026-03-17 5/250 2026-03-21 02:23 by JourneyLucky
[考研] 307求调剂 +10 冷笙123 2026-03-17 10/500 2026-03-21 01:54 by JourneyLucky
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-18 6/300 2026-03-21 00:32 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大,求调剂 +5 材化逐梦人 2026-03-18 5/250 2026-03-21 00:26 by JourneyLucky
[考研] 289求调剂 +6 怀瑾握瑜l 2026-03-20 6/300 2026-03-20 20:30 by 学员8dgXkO
[考博] 招收博士1-2人 +3 QGZDSYS 2026-03-18 3/150 2026-03-20 11:58 by 呱呱呱呱叫
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 344求调剂 +6 knight344 2026-03-16 7/350 2026-03-18 20:13 by walc
[考博] 26博士申请 +3 1042136743 2026-03-17 3/150 2026-03-17 23:30 by 轻松不少随
[考研] 考研求调剂 +3 橘颂. 2026-03-17 4/200 2026-03-17 21:43 by 有只狸奴
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
信息提示
请填处理意见