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InGaAs薄膜生长的难点是什么?
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付付得真
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专业: 光子与光电子器件
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InGaAs薄膜生长的难点是什么?
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1楼
2012-02-07 20:31:18
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bojan14
金虫
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注册: 2008-10-19
性别: GG
专业: 半导体材料
顶一个,期待高手!
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼
2012-02-08 09:32:48
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MANOWAR
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注册: 2010-12-26
性别:
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专业: 无机材料化学
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
一般来说是晶格匹配问题。另外就是含In的三五族化合物,In非常容易析出,导致生长薄膜达不到预期要求。个人拙见~
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3楼
2012-02-13 10:38:01
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5aiai娟
木虫
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在线: 113.6小时
虫号: 1344980
注册: 2011-07-13
性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
付付得真(金币+1):
★★★
很有帮助 2012-02-20 21:49:33
在确定的组分下,As压和温度控制最为重要,其次生长的初始表面(包括成分、粗糙度及重构等因素)及生长的方式,还有退火条件等。个人拙见~~
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2012-02-20 21:46:06
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注册: 2010-08-04
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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做无心人,未来不迎;当时无杂,既过不恋。
5楼
2012-02-20 23:12:26
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