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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教玻璃表面做金电极的问题
汕头大学海洋科学接受调剂
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)

那央芯微反应器

[求助] 请教玻璃表面做金电极的问题

听说玻璃上做金电极必须有铬或者钛作为中介层，不然金和玻璃粘不牢；但是我实验室的溅射仪是低真空的，无法镀铬和钛（仪器厂家说的），所以想到的办法就是：用市场上匀胶铬层玻璃来做，首先洗去光刻胶层，暴露出铬层，烘干，再溅射金；问题是：铬层会不会氧化，导致金溅射上去粘结不牢？
还有就是，纳米层的金必须用王水洗去吗？用一般的盐酸可以洗去吗？

[ Last edited by shajun on 2011-12-20 at 10:48 ]
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1楼 2011-12-20 10:37:40
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回帖置顶 ( 共有1个 )

shajun

捐助贵宾 (正式写手)

那央芯微反应器
引用回帖:
楼: Originally posted by shapeo at 2012-01-01 12:49:44:
我也打算做些玻璃电极阵列，一般可以在哪里加工。谢谢！

上海汶昌芯片科技有限公司可以加工不同种类的玻璃电极阵列，金电极或者ITO电极。
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6楼2012-01-08 02:02:45
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vvxd

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

Cr层经你这么折腾，粘附性肯定差了。
一般多层金属蒸镀都是在同一蒸镀机里做的，间隔时间很短而且都是在真空状态下。金必须在HNO3+HCl下清洗。
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dsd
10楼2012-07-16 10:27:13
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普通回帖

moonriver2008

金虫 (正式写手)
为何要将镀金洗去呢？
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2楼2011-12-21 12:43:55
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)

那央芯微反应器
引用回帖:
楼: Originally posted by moonriver2008 at 2011-12-21 12:43:55:
为何要将镀金洗去呢？

要做电极阵列，要洗去没用的呀
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3楼2011-12-23 12:32:21
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shapeo

铁虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by shajun at 2011-12-23 12:32:21:
要做电极阵列，要洗去没用的呀

我也打算做些玻璃电极阵列，一般可以在哪里加工。谢谢！
赞一下 回复此楼
shapeo
4楼2012-01-01 12:49:44
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xiejf

专家顾问 (文学泰斗)

麦麦爸爸爱小牛

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
xjajx(金币+1): 2012-01-02 20:10:13
玻璃做了清洗后直接喷金就可以。洗去的话只能用王水，盐酸不行。
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麦麦爸爸爱小牛
5楼2012-01-01 13:21:57
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myIDname

木虫 (著名写手)

人民大会堂首席清洁工

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
其实挺简单的工艺，自己搞太折腾了。不知道你在哪里，问问北大的工艺间，上海的微系所，南京的东南大学都能做。
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我们这里有勇敢的人民/荜路蓝缕以启山林/我们这里有无穷的生命/水牛稻米香蕉玉兰花
7楼2012-01-28 01:06:56
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)

那央芯微反应器
引用回帖:
楼: Originally posted by myIDname at 2012-01-28 01:06:56:
其实挺简单的工艺，自己搞太折腾了。不知道你在哪里，问问北大的工艺间，上海的微系所，南京的东南大学都能做。

OK~谢谢
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8楼2012-02-12 23:47:27
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shajun

捐助贵宾 (正式写手)
9楼2012-02-12 23:47:41
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