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hflyover

铜虫 (初入文坛)

[求助] 想用光刻胶成分中的基体树脂做掩膜,该买什么材料 已有1人参与

我想在硅片表面涂掩膜,用激光刻蚀掩膜形成窗口。通过腐蚀液从窗口腐蚀硅片,形成凹坑。

光刻胶中的基体树脂成分应该满足要求把。查得正胶基体树脂有一种是PMMA,市面上有卖PMMA塑料原料,能不能用呢?这个PMMA好像有分子聚合度的要求,如果不能,请问该买什么样的材料呢?
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新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我就很奇怪,光刻胶用线性酚醛树脂 就这么难做出来?这个树脂的作用是什么?我想是用来去除痕量的金属杂质吧,既然这样,何不换一个思路,用吸附材料来捕捉这些金属杂质,我吸附材料上的配位官能团对这些痕量金属杂质一抓一个准
2楼2018-05-08 14:54:45
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