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hflyover

铜虫 (初入文坛)

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[求助] 想用光刻胶成分中的基体树脂做掩膜，该买什么材料已有1人参与

我想在硅片表面涂掩膜，用激光刻蚀掩膜形成窗口。通过腐蚀液从窗口腐蚀硅片，形成凹坑。

光刻胶中的基体树脂成分应该满足要求把。查得正胶基体树脂有一种是PMMA，市面上有卖PMMA塑料原料，能不能用呢？这个PMMA好像有分子聚合度的要求，如果不能，请问该买什么样的材料呢？

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1楼 2011-12-17 22:28:07

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361312326

新虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

我就很奇怪，光刻胶用线性酚醛树脂就这么难做出来？这个树脂的作用是什么？我想是用来去除痕量的金属杂质吧，既然这样，何不换一个思路，用吸附材料来捕捉这些金属杂质，我吸附材料上的配位官能团对这些痕量金属杂质一抓一个准

2楼2018-05-08 14:54:45

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