应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 求助关于磁控溅射的问题
51/1返回列表
查看: 3964  |  回复: 29
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助关于磁控溅射的问题

请问各位虫友：
   用磁控溅射仪有没有什么办法溅射掉基板表层的膜后（如氧化膜），再溅射靶材物质，（基质太过活泼，如果用其他的方法去掉表层后，遇空气后又立即氧化，严重影响性能）。
   据老板说加负偏压可以解决问题，本人刚接触学术研究，才疏学浅，不知道是什么意思，不知道有没有明白这个问题的高人，或者大家有什么方法没？

    这个是不是就是“自溅射”，自溅射又是什么意思呢？
   多谢赐教啊~~~

[ Last edited by 浅蓝深蓝 on 2011-12-11 at 21:14 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

职场经验

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2011-12-11 20:55:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

guoguixin1

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
浅蓝深蓝(金币+2): 2011-12-13 13:32:23
负偏压也叫反溅射就是他基材作为负极，让氩离子轰击基材打掉基材上的东西，我们用反溅射来清洗基材
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

浅蓝深蓝
5楼2011-12-12 23:04:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 30 个回答

Easony

至尊木虫 (知名作家)

老顽童

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
自溅射就是通过离子轰击把靶材的原子沉积到样品表面，溅射时候是利用等离子体一般用氩气来完成的，氩离子带正电，要向阴极跑，所以靶材就是溅射阴极，阻值？没听过，没有什么阻值，只有电压阈值，就是等离子体激发的电压，大约是500V左右
赞一下 回复此楼
自信，坚持，善良，真实，简单生活，敢爱敢恨！
2楼2011-12-11 21:58:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

浅蓝深蓝

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
楼: Originally posted by Easony at 2011-12-11 21:58:52:
自溅射就是通过离子轰击把靶材的原子沉积到样品表面，溅射时候是利用等离子体一般用氩气来完成的，氩离子带正电，要向阴极跑，所以靶材就是溅射阴极，阻值？没听过，没有什么阻值，只有电压阈值，就是等离子体激发 ...

你说的是溅射的原理吧？
赞一下 回复此楼
3楼2011-12-11 22:05:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

feiepeng

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
浅蓝深蓝(金币+2): 2011-12-13 13:32:14
溅射氧化层得用射频源，因为一般的氧化物都是不导电的，用之流的话很难产生稳定的电场的，至于加负偏压的话不确定是否可以将之溅掉。
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

浅蓝深蓝
roc
4楼2011-12-12 17:30:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 30 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 4/200 2026-11-07 16:50 by Xc2FxHsHkBNc
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 4/200 2026-11-07 16:28 by Xc2FxHsHkBNc
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 5sJFDKp2kwuI 2026-11-06 6/300 2026-11-07 15:44 by Xc2FxHsHkBNc
[教师之家] 延安大学回应“副教授留绝笔信”：确已离世，正核实举报内容 +3 yexuqing 2026-11-04 5/250 2026-11-07 13:22 by 苏东坡二世
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +10 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 22/1100 2026-11-06 17:18 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 5/250 2026-11-06 16:43 by 5sJFDKp2kwuI
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 8/400 2026-11-06 16:34 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:32 by 5sJFDKp2kwuI
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 16:12 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 11/550 2026-11-06 16:10 by 5sJFDKp2kwuI
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 11/550 2026-11-06 13:47 by BkA9Bi5cMhkD
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 10/500 2026-11-06 12:32 by BkA9Bi5cMhkD
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 ELBZ6WwEaRj6 2026-11-05 5/250 2026-11-06 09:01 by 2lRNluKrJpwL
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:11 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +4 kvewwGtKktqB 2026-11-04 11/550 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 kvewwGtKktqB 2026-11-04 14/700 2026-11-06 05:10 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +6 kvewwGtKktqB 2026-11-04 16/800 2026-11-06 05:00 by qL1cU46YIdK0
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 ttH3f1oA6ace 2026-11-04 10/500 2026-11-06 02:04 by qL1cU46YIdK0
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 hNpp4Y2CGvSC 2026-11-04 12/600 2026-11-06 01:53 by qL1cU46YIdK0
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 ncTVBM6AOJHF 2026-11-04 10/500 2026-11-06 01:51 by qL1cU46YIdK0
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭