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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 电子束蒸发对膜材颗粒大小要求
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buyun1589

新虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发对膜材颗粒大小要求

大家好，我想请教下电子束蒸发对膜材颗粒大小有无要求？我用阻热蒸发金属膜材的金属颗粒（颗粒大小4,5毫米）比较大，用阻热可以镀膜，但是用电子束镀膜的时候，就把坩埚击穿了。是不是电子束蒸发对膜材颗粒大小有要求？谢谢！
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1楼 2011-12-04 12:34:31
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无聊的luffy

新虫 (初入文坛)
金属熔点低，阻蒸时蒸发快，你用电子枪蒸发必须低电流，速率不能太快，太快的话电子枪一直加电流导致直接打到坩埚。
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3楼2013-10-30 16:35:46
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xiaochenzi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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buyun1589: 金币+4 2012-04-12 10:06:17
金属要把坩埚底部填满，不能让电子束直接打在坩埚上，光斑要对准金属，束流增加要慢
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2楼2012-02-23 16:40:54
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