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buyun1589

新虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发对膜材颗粒大小要求

大家好,我想请教下电子束蒸发对膜材颗粒大小有无要求?我用阻热蒸发金属膜材的金属颗粒(颗粒大小4,5毫米)比较大,用阻热可以镀膜,但是用电子束镀膜的时候,就把坩埚击穿了。是不是电子束蒸发对膜材颗粒大小有要求?谢谢!
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xiaochenzi

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
buyun1589: 金币+4 2012-04-12 10:06:17
金属要把坩埚底部填满,不能让电子束直接打在坩埚上,光斑要对准金属,束流增加要慢
2楼2012-02-23 16:40:54
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无聊的luffy

新虫 (初入文坛)

金属熔点低,阻蒸时蒸发快,你用电子枪蒸发必须低电流,速率不能太快,太快的话电子枪一直加电流导致直接打到坩埚。
3楼2013-10-30 16:35:46
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