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andyxia1988新虫 (小有名气)
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[求助]
如何光刻不同深度的图形
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 如图所示在硅片上加工这样的图形，其中1部分的深度是100微米，2部分的深度是200微米，应该如何加工！ 1.先把整体光刻100微米，在单独刻小孔100.这个过程需不需要重新制作光刻曝光，还是直接刻蚀 2.先刻蚀1部分，在刻蚀2部分，两个深度不一样 |
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