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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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andyxia1988

新虫 (小有名气)

[求助] 如何光刻不同深度的图形



如图所示在硅片上加工这样的图形,其中1部分的深度是100微米,2部分的深度是200微米,应该如何加工!
1.先把整体光刻100微米,在单独刻小孔100.这个过程需不需要重新制作光刻曝光,还是直接刻蚀
2.先刻蚀1部分,在刻蚀2部分,两个深度不一样
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