20楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 08:57:37:
就是镀膜前你有没有对基底样品有没有高压清洗，还有靶材有没有先溅射清洗，这个很有可能都是污染源，还有你可以去检测下薄膜钛氧化物的含量，看有多少被氧化了

21楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 09:19:16:
做XRD的时候都找不到钛的峰，感觉像是完全被氧化了，您说的检测氧化物的含量需要怎么检测？我想如果xrd检测不到钛，只有氧化钛的峰应该就是完全被氧化了吧？

22楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 09:41:43:
你不给金币是表示对我观点的不认同，一点人情世故都不懂，就只知道想要自己的答案。
你可以去做下XPS表层和次表层（一般都是10 nm）的检测分析，看看是只有表层被氧化了，还是基底的膜都氧化，还有钛氧化的不是 ...

24楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 11:32:50:
呵呵，不用了，看来是我想错了，实在对不住，祝你顺利毕业！你多做点检测吧，有数据在，不一定非得要好结果，到时你毕业也可以写为什么做不成这种薄膜的原因分析。

26楼: Originally posted by 13333 at 2011-10-18 16:29:56:
XRD只测得氧化钛的峰也不能说完全被氧化了 也有可能是你溅射出来的钛结晶状态不好 是非晶态的 我溅射的铜 也基本上看不到铜的峰 不要只看XRD 应该通过其他方法测测 XPS 拉曼 EDS 什么的 看你们的测试条件了