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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
20楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 08:57:37:
就是镀膜前你有没有对基底样品有没有高压清洗，还有靶材有没有先溅射清洗，这个很有可能都是污染源，还有你可以去检测下薄膜钛氧化物的含量，看有多少被氧化了

做XRD的时候都找不到钛的峰，感觉像是完全被氧化了，您说的检测氧化物的含量需要怎么检测？我想如果xrd检测不到钛，只有氧化钛的峰应该就是完全被氧化了吧？
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21楼2011-10-18 09:19:16
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
21楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-18 09:19:16:
做XRD的时候都找不到钛的峰，感觉像是完全被氧化了，您说的检测氧化物的含量需要怎么检测？我想如果xrd检测不到钛，只有氧化钛的峰应该就是完全被氧化了吧？

你不给金币是表示对我观点的不认同，一点人情世故都不懂，就只知道想要自己的答案。
你可以去做下XPS表层和次表层（一般都是10 nm）的检测分析，看看是只有表层被氧化了，还是基底的膜都氧化，还有钛氧化的不是只有二氧化钛的，你可以去查下相关文献
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jeffwell
活着的意义
22楼2011-10-18 09:41:43
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
送鲜花一朵
引用回帖:
22楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 09:41:43:
你不给金币是表示对我观点的不认同，一点人情世故都不懂，就只知道想要自己的答案。
你可以去做下XPS表层和次表层（一般都是10 nm）的检测分析，看看是只有表层被氧化了，还是基底的膜都氧化，还有钛氧化的不是 ...

不好意思啊，我是新手，不知道怎么给金币？麻烦您教下我，我给你，现在只知道点一下鲜花，给你金币，因为我快毕业了，现在实验一塌糊涂，比较着急，唐突之处，还望见谅，您把方法告诉我一下， 我给你金币。
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23楼2011-10-18 10:02:04
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

呵呵，不用了，看来是我想错了，实在对不住，祝你顺利毕业！你多做点检测吧，有数据在，不一定非得要好结果，到时你毕业也可以写为什么做不成这种薄膜的原因分析。
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活着的意义
24楼2011-10-18 11:32:50
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
24楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-18 11:32:50:
呵呵，不用了，看来是我想错了，实在对不住，祝你顺利毕业！你多做点检测吧，有数据在，不一定非得要好结果，到时你毕业也可以写为什么做不成这种薄膜的原因分析。

谢谢您的帮忙！感激不尽！希望有问题多向您请教！
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25楼2011-10-18 12:16:07
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13333

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

XRD只测得氧化钛的峰也不能说完全被氧化了 也有可能是你溅射出来的钛结晶状态不好 是非晶态的 我溅射的铜 也基本上看不到铜的峰 不要只看XRD 应该通过其他方法测测 XPS 拉曼 EDS 什么的 看你们的测试条件了
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26楼2011-10-18 16:29:56
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
26楼: Originally posted by 13333 at 2011-10-18 16:29:56:
XRD只测得氧化钛的峰也不能说完全被氧化了 也有可能是你溅射出来的钛结晶状态不好 是非晶态的 我溅射的铜 也基本上看不到铜的峰 不要只看XRD 应该通过其他方法测测 XPS 拉曼 EDS 什么的 看你们的测试条件了

学校里倒是有EDS，需要对比分析吗？按照我的计划，是需要xrd检测，然后根据XRD的结果进行计算的。
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27楼2011-10-18 17:58:49
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henairu

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

楼主可以试试抽真空时通入氩气，稀释氧浓度！
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28楼2011-11-22 21:15:59
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zhou5950

新虫 (初入文坛)
真为你感到不幸，我研二头一次使用溅射仪，（在师兄的指导下）就做出来了。
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29楼2011-11-28 18:42:21
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Illusionist

银虫 (正式写手)
感觉27楼有道理。 “楼主可以试试抽真空时通入氩气，稀释氧浓度！ ”
我也做过溅射Ti金属。你的本底真空已经很高了。Ti本身是很难氧化的材料，感觉说什么在空气中氧化的，有些不靠谱。应该是腔体还有氧气，可以多次通入氩气，稀释氧浓度。衬底洗干净一些·····
祝你好运。
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30楼2012-01-07 22:51:58
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