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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2011-10-12 12:10:53:
在镀钛之前有没有镀过其他的膜，特别是氧化物，如果有的话要把磁控溅射真空室及靶彻底清洗干净，用乙醇擦洗干净，吹干，把炉子再好好烘烤。
如果其他没问题建议买一块4N的靶材。
清洗基片时注意洗涤顺序，吹干时 ...

最近一段时间，那个磁控溅射室一直我在用，别人没用过
充氩气溅射的时候发出淡蓝色发白的光，而不是紫色的光，不知道有没有问题，因为我查得资料里边氩气电离后是紫色的
还有就是我洗基片的顺序有没有问题啊？谢谢了！
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11楼2011-10-12 12:21:23
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wuger11111

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-10-13 10:51:11
10的-5真空度已经很高了，可能是做出膜取出被氧化的。建议在表面再溅射层保护膜SiO2试试
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12楼2011-10-13 09:56:37
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by wuger11111 at 2011-10-13 09:56:37:
10的-5真空度已经很高了，可能是做出膜取出被氧化的。建议在表面再溅射层保护膜SiO2试试

是在溅射之前吗？还是溅射之后？
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13楼2011-10-13 10:51:07
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xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

应该不是真空度的问题，与靶材及真空室洁净度有关。
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14楼2011-10-13 11:53:04
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wtony

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

保护膜最后是肯定要溅射的，之前也可以，最后要排除保护层对膜厚的影响。还有就是做完实验最好继续抽真空，因为溅射时间太长，基片温度太高，可能在拿出基片时氧化，或者在腔室内氧化了，我猜
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好好努力才是王道啊～
15楼2011-10-13 13:12:39
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

抽真空后，不知道你有没有对样品和靶材清洗好
还有钛在自然条件下很容易氧化的，放置一段时间就氧化了
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活着的意义
16楼2011-10-13 15:44:20
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-13 15:44:20:
抽真空后，不知道你有没有对样品和靶材清洗好
还有钛在自然条件下很容易氧化的，放置一段时间就氧化了

不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？
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17楼2011-10-15 08:30:49
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sea88sky

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我也从事磁控溅射镀膜，只是镀膜问题太多，不知怎么能直接帮助你。镀膜很复杂，首先抽真空得彻底，然后，靶的溅射特性要清楚，才能做出纯金属。你可以问你的指导老师啊
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18楼2011-10-17 17:06:39
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jeffwell

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-15 08:30:49:
不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？

很复杂的，我老师其实不懂这个，只是跟她认识的人有这个想法，所以她让我做。我现在碰到我提都不知道找谁。要不然就没有这么无奈了。
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19楼2011-10-17 18:10:47
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王令111

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
17楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-15 08:30:49:
不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？

就是镀膜前你有没有对基底样品有没有高压清洗，还有靶材有没有先溅射清洗，这个很有可能都是污染源，还有你可以去检测下薄膜钛氧化物的含量，看有多少被氧化了
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活着的意义
20楼2011-10-18 08:57:37
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