版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

2

jeffwell

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 105.5
红花: 1
帖子: 58
在线: 39.4小时
虫号: 1299301
注册: 2011-05-18
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

10楼: Originally posted by xjtu-sunhl at 2011-10-12 12:10:53:
在镀钛之前有没有镀过其他的膜，特别是氧化物，如果有的话要把磁控溅射真空室及靶彻底清洗干净，用乙醇擦洗干净，吹干，把炉子再好好烘烤。
如果其他没问题建议买一块4N的靶材。
清洗基片时注意洗涤顺序，吹干时 ...

最近一段时间，那个磁控溅射室一直我在用，别人没用过
充氩气溅射的时候发出淡蓝色发白的光，而不是紫色的光，不知道有没有问题，因为我查得资料里边氩气电离后是紫色的
还有就是我洗基片的顺序有没有问题啊？谢谢了！

11楼2011-10-12 12:21:23

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wuger11111

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 411
散金: 21
帖子: 4
在线: 5.6小时
虫号: 1355505
注册: 2011-07-25
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

【答案】应助回帖

★
aishan(金币+1): 感谢交流 2011-10-13 10:51:11

10的-5真空度已经很高了，可能是做出膜取出被氧化的。建议在表面再溅射层保护膜SiO2试试

赞一下(1人)

12楼2011-10-13 09:56:37

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jeffwell

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 105.5
红花: 1
帖子: 58
在线: 39.4小时
虫号: 1299301
注册: 2011-05-18
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

12楼: Originally posted by wuger11111 at 2011-10-13 09:56:37:
10的-5真空度已经很高了，可能是做出膜取出被氧化的。建议在表面再溅射层保护膜SiO2试试

是在溅射之前吗？还是溅射之后？

13楼2011-10-13 10:51:07

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

xjtu-sunhl

金虫 (正式写手)

应助: 9 (幼儿园)
金币: 1245
散金: 10
帖子: 972
在线: 85.7小时
虫号: 1185730
注册: 2011-01-08
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

【答案】应助回帖

应该不是真空度的问题，与靶材及真空室洁净度有关。

14楼2011-10-13 11:53:04

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wtony

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 317
散金: 2
红花: 1
帖子: 132
在线: 25.9小时
虫号: 1329224
注册: 2011-06-23
性别: GG
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

【答案】应助回帖

保护膜最后是肯定要溅射的，之前也可以，最后要排除保护层对膜厚的影响。还有就是做完实验最好继续抽真空，因为溅射时间太长，基片温度太高，可能在拿出基片时氧化，或者在腔室内氧化了，我猜

好好努力才是王道啊～

15楼2011-10-13 13:12:39

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

王令111

木虫 (正式写手)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 1939.5
红花: 1
帖子: 954
在线: 188.9小时
虫号: 854610
注册: 2009-09-23
性别: GG
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

抽真空后，不知道你有没有对样品和靶材清洗好
还有钛在自然条件下很容易氧化的，放置一段时间就氧化了

活着的意义

16楼2011-10-13 15:44:20

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jeffwell

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 105.5
红花: 1
帖子: 58
在线: 39.4小时
虫号: 1299301
注册: 2011-05-18
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

16楼: Originally posted by 王令111 at 2011-10-13 15:44:20:
抽真空后，不知道你有没有对样品和靶材清洗好
还有钛在自然条件下很容易氧化的，放置一段时间就氧化了

不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？

17楼2011-10-15 08:30:49

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

sea88sky

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 58.4
帖子: 15
在线: 5.3小时
虫号: 1410583
注册: 2011-09-21
专业: 佛教

【答案】应助回帖

我也从事磁控溅射镀膜，只是镀膜问题太多，不知怎么能直接帮助你。镀膜很复杂，首先抽真空得彻底，然后，靶的溅射特性要清楚，才能做出纯金属。你可以问你的指导老师啊

18楼2011-10-17 17:06:39

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

jeffwell

铜虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 105.5
红花: 1
帖子: 58
在线: 39.4小时
虫号: 1299301
注册: 2011-05-18
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

引用回帖:

17楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-15 08:30:49:
不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？

很复杂的，我老师其实不懂这个，只是跟她认识的人有这个想法，所以她让我做。我现在碰到我提都不知道找谁。要不然就没有这么无奈了。

19楼2011-10-17 18:10:47

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

王令111

木虫 (正式写手)

应助: 8 (幼儿园)
金币: 1939.5
红花: 1
帖子: 954
在线: 188.9小时
虫号: 854610
注册: 2009-09-23
性别: GG
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

引用回帖:

17楼: Originally posted by jeffwell at 2011-10-15 08:30:49:
不知道您说的清洗好是什么意思？怎么清洗法？

就是镀膜前你有没有对基底样品有没有高压清洗，还有靶材有没有先溅射清洗，这个很有可能都是污染源，还有你可以去检测下薄膜钛氧化物的含量，看有多少被氧化了

活着的意义

20楼2011-10-18 08:57:37

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 jeffwell 的主题更新

2