直流磁控溅射镀膜总是被氧化 - 金属 - 表面处理 - 第5页小木虫论坛-学术科研互动平台

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新虫 (初入文坛)

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我提出一些不同看法
泛黃可能是高溫的反應痕跡
而高溫可能?碜造赌愕膅un 的冷卻水不冷或是堵住不流
因此靶材高熱
而上去的材料也有不低的溫度
造成你的成膜不好
可以先確認冷卻水
再去打10mins

41楼2015-03-12 13:59:16

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木虫 (小有名气)

靶材表面的一层溅射掉，之后再溅射沉积。估计是什么地方有了氧气或者氮气

42楼2015-05-05 11:20:23

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新虫 (初入文坛)

楼主后来问题咋解决的，我现在也遇到这个问题，薄膜中氧含量一直偏高

43楼2015-11-18 08:44:59

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