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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
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juangpeiyi

新虫 (初入文坛)
久遠的文章
我提出一些不同看法
泛黃可能是高溫的反應痕跡
而高溫可能?碜造赌愕膅un 的冷卻水不冷或是堵住不流
因此靶材高熱
而上去的材料也有不低的溫度
造成你的成膜不好
可以先確認冷卻水
再去打10mins
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41楼2015-03-12 13:59:16
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liuyang12345

木虫 (小有名气)
靶材表面的一层溅射掉，之后再溅射沉积。估计是什么地方有了氧气或者氮气
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42楼2015-05-05 11:20:23
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small421

新虫 (初入文坛)
楼主后来问题咋解决的，我现在也遇到这个问题，薄膜中氧含量一直偏高
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43楼2015-11-18 08:44:59
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