| 查看: 5218 | 回复: 42 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
直流磁控溅射镀膜总是被氧化
|
||
|
各位大侠！本人做磁控溅射镀膜已经四五个月时间，一直坚持不懈努力着，但是每次镀出来的钛膜都是黄色的，用XRD检测发现是一氧化钛，现在离毕业时间不远了，但是自己一点成果都没有，论文都无从谈起，想请大家帮忙！不甚感激！另PS我试验中的参数 基底：单晶硅（100）（纯度99.9%） 背景真空度：6-8E-5pa Ar流量：20sccm 工作压强：0.5pa 溅射功率：100、150、200、250w 我的基底在实验之前分别丙酮，无水乙醇，去离子水分别超声波清洗20min，最后用吹风机吹干！ 我现在真是不知道自己哪出了问题，研究了很长时间了，希望有经验的大侠给我点建议，我都在崩溃的边缘了，在这么下去毕业无止境了都。跪求！ |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
zhangxaut» 猜你喜欢
请问哪里可以有青B申请的本子可以借鉴一下。
已经有3人回复
-
真诚求助：手里的省社科项目结项要求主持人一篇中文核心，有什么渠道能发核心吗
已经有3人回复
-
孩子确诊有中度注意力缺陷
已经有14人回复
-
三甲基碘化亚砜的氧化反应
已经有4人回复
-
请问下大家为什么这个铃木偶联几乎不反应呢
已经有5人回复
-
请问有评职称，把科研教学业绩算分排序的高校吗
已经有5人回复
-
2025冷门绝学什么时候出结果
已经有3人回复
-
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入
已经有4人回复
-
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生
已经有6人回复
-
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？
已经有3人回复
41楼2015-03-12 13:59:16
2楼2011-10-09 14:21:12
3楼2011-10-09 15:04:30
4楼2011-10-11 09:28:34